Fotolitografia
Fotolitografia on valokuvauksen ja litografian yhdistelmä. Sen käyttötarkoituksiin kuuluu valokuvien massapainatus. Mikrofotolitografia on fotolitografian käyttö valokuvamaskin geometristen muotojen siirtämiseksi puolijohdekiekkojen pinnalle integroitujen piirien valmistusta varten.
Valmistus
Fotolitografiassa valmistetaan integroituja piirejä, kuten muistia ja keskusyksiköitä.
Erityinen valo- ja varjokuvio valaistaan valomaskin läpi piilevylle tai -kiekolle, joka on peitetty fotoresistiksi kutsutulla materiaalilla. Valo kovettaa fotoresistin. Kun levy kastetaan erityiseen happoon, osat, joihin ei kohdistunut valoa, liukenevat pois.
Muistisiruissa on tuhansia tai miljoonia samanlaisia soluja. Koska RAM-muistisirut on paljon helpompi valmistaa kuin suorittimet (suuri muisti, jonka rakenne ei ole toistuva), ne ovat paljon edullisempia kuin prosessorit.
